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四級質譜檢漏

2021-02-22 14:30
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檢漏過程是所有真空設備建造和應用過程中的一項重要且必要工作,

在針對大型空間環境模擬器設備的應用領域效果也非常出眾。通常情況下所選擇的質譜檢漏儀由于受自身前級抽氣能力容器大小的限制,其靈敏度和反應時間會產生較大的差異,所選擇的示漏氣體為單一氣體氣。四級質譜檢漏儀無論從自身裝配體積、示漏氣體選擇、靈敏度、反應時間以及在線殘氣成分分析等方均有明顯的提高,已成為中大型空間環境模擬設備不可或缺的真空配置儀器。其缺點是需要有基礎的本低真空才能進行工作,通常至少需要進入IO3Pa以上的本低真空環境。

四級質譜檢漏儀通過標準接口和真空容器相連接,啟動后可通過殘留氣體的成分和比例進行定性確認是否存在有超出設備允許漏率范圍以外的漏孔存在。例如,殘氣中存在N2O2Ar、H2O等殘氣成分,且主峰為N2峰,N2:02比例等于或接近4:1便可基本判定系統存在漏率,其大小可通過分量氣體漏率累加得出

釆用噴法、罩檢法對可疑部位施加示漏氣體,可選不漏氣體包括He、N2O2Ar等氣體,通過對應氣體的對應峰值改變進行漏點判定

過程中可在線對拆卸過的接口(法蘭、真空航空插頭等)進行復檢,避免試驗準備過程對原有真空性能的引入性破壞此外對于熱沉等長期運行過程中是否存在冷漏等問題,也可以通過監側熱沉通入液氮后N2峰的改變進行判定。

真空航空插頭.jpg






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